为应对先进半导体制造对关键材料的极致要求，推动检测技术创新与产业链自主可控，2026年1月15日，由珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司联合上海市计量测试技术研究院有限公司（上海市电子化学品计量检测技术专业服务平台）、集成电路材料创新联合体主办的 “半导体电子特气发展趋势与检测技术创新交流会” 在上海浦东新区成功召开。会议汇聚了产业链上下游企业及研究机构的70余位专家代表，围绕电子特气的技术挑战、创新检测方案与国产化发展路径进行了深度研讨与思想碰撞。
凝聚共识，展望合作
会议伊始，珀金埃尔默大中华区分析与解决方案销售负责人 华长春 先生致欢迎辞：
他强调了分析检测技术在保障半导体产业安全中的基石作用，并介绍了珀金埃尔默在核心仪器国产化方面的持续投入与最新进展，表达了深耕中国市场、服务本土产业创新的决心。
随后上海市计量测试技术研究院有限公司总经理助理、科技信息处处长，全国气体标准化技术委员会委员 陈鹰 正高级工程师代表主办方致辞。
他指出，本次会议旨在搭建高水平的产学研用对话平台，聚焦电子化学品计量检测等关键环节，凝聚行业智慧，共同应对挑战，并与产业伙伴携手推动高质量发展。
专题报告：洞见挑战、方案与未来创新方案：全流程质控与颠覆性技术突破
珀金埃尔默半导体项目负责人 黄清发 在《珀金埃尔默电子特气检测方案及国产化进程》报告中，系统介绍了从原料检验（IQC）、过程监控（IPQC）到成品检测（FQC）的全流程质量控制解决方案。该方案核心涵盖了气相色谱仪（GC）、气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）、傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）、紫外分光光度计（UV）及电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等先进实验室仪器，可精准分析各类电子特气中的痕量杂质。
报告特别重点介绍了创新的气体直接进样-ICPMS（GDI-ICPMS）技术。珀金埃尔默外聘专家 Tommy Lee 在《GDI-ICPMS气体分析方案》报告中，通过详实的数据对比和应用案例（包括在韩国市场的成熟应用），充分展示了该技术相比传统鼓泡吸收法的颠覆性优势：直接进样、无前处理污染、分析前处理时间仅需约5分钟、接近100%的金属杂质回收率、以及低于0.1 ppt的超高灵敏度。GDI-ICPMS技术为半导体制造中金属杂质的精准、快速、安全监控提供了强大的支持。
产业图景：国产化进程的“三维突破”与理性思考
上海集成电路材料研究院有限公司材料研发实验室总监 孙猛 博士在《电子特气国产化进程评估：技术、产能与市场格局的三维突破》报告中，全面评估了国产电子特气产业的进展。他指出，当前国内产业已在技术、产能、市场三个维度实现显著突破：
1技术面
产品纯度稳定达到6N并向更高水平迈进，部分关键技术实现自主。
2产能面
总产能快速增长，形成了长三角、珠三角等区域性产业集群。
1市场面
格局已从外资垄断演变为中外竞合，本土企业在头部晶圆厂的渗透率持续提升。
同时，孙猛博士也提醒行业需保持理性，关注部分品种可能出现的产能规划过剩风险，未来应加强核心技术攻坚、产业链协同优化和市场理性布局。
核心挑战：先进制程驱动检测迈入“ppt时代”
上海市计量测试技术研究院有限公司材质中心高级工程师 魏王慧 在其报告《半导体发展进程下电子气体分析技术要求与测试方法》中明确指出，随着制程节点迈向3nm及以下，半导体制造对电子气体的纯度要求已攀升至9N（99.9999999%）级，对痕量杂质（水分、金属离子、颗粒物、酸碱污染物等）的检测灵敏度需求达到ppb（十亿分之一）至ppt（万亿分之一）级别。她系统阐述了当前分析技术面临的瓶颈，并指出未来将朝着更高精度、智能化自动化、多功能集成与模块化、绿色安全以及标准国际化与国产自主创新的方向发展。魏王慧高工介绍，其所在的实验室已具备覆盖各类气体的CMA/CNAS全项检测资质，是国内检测能力最全的专业气体分析实验室之一，为产业提供了有力的技术支撑。
圆桌论道：碰撞思维，共探前路
在圆桌论坛环节，孙猛博士、魏王慧高工与特邀专家汤剑波、宛志文以及Tommy Lee同台，围绕 “国内半导体电子特气的市场前景”、“国产化进程的深化路径”、“标准化体系建设”以及“韩国电子特气市场及技术趋势” 等热点议题展开了深入讨论。现场交流热烈，专家们的真知灼见为行业发展提供了多元视角和前瞻思考。
扎根中国：珀金埃尔默的国产化实践与承诺
作为行业的重要参与者与本次会议的支持方，珀金埃尔默以实际行动践行对中国市场的承诺。位于苏州太仓的制造与供应链中心自2017年投产以来，已成功实现了包括原子吸收光谱仪（AAS）、气相色谱仪（GC）、紫外可见分光光度计（UV）、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等多条核心产品线的本土化生产。通过持续构建稳定可靠的本地化供应链体系，并在生产全过程恪守ISO9001国际质量体系，珀金埃尔默确保了“中国制造”拥有“世界一流”的品质，致力于以更快的响应速度和更优的服务，为中国半导体材料产业的高质量发展与供应链自主可控提供坚实的技术保障。
本次交流会的成功举办，不仅为产业链各方提供了宝贵的知识分享与经验交流平台，更明晰了在先进制程牵引下，电子特气检测技术创新与产业协同发展的方向。珀金埃尔默期待与更多合作伙伴携手，以持续的技术创新和深入的产业协作，共同应对挑战，把握时代机遇，为中国半导体产业的核心材料自主化与长远发展贡献专业力量。
